梵語 svāhā。乃真言、陀羅尼結句之語。又作僧婆訶、塞嚩訶、沙婆訶、莎縛訶、薩婆訶、娑婆訶、娑嚩訶、娑嚩賀、莎訶。仁王經道場念誦儀軌卷下謂娑嚩訶即成就、吉祥、圓寂、息災、增益、無住之義；依無住義，娑嚩訶即是無住涅槃，依此無住涅槃盡未來際，利樂有情，無有盡期。大日經疏卷六則謂莎訶乃驚覺義，即驚覺諸佛不違本誓，滿足所願，令道場具足嚴淨之意。又同經疏卷十三載，莎訶乃打擊諸障礙，令彼退散，具有摧魔之義。蓋此語原為古印度對神獻供時所唱之感嘆詞，又意謂良美之供物；後世作為神聖語，附於咒文之末，係表示成就、吉祥、息災、增益等意。［大日經卷七持誦法品、不空罥索神變真言經卷一、尊勝佛頂修瑜伽法軌儀卷上、金剛頂經瑜伽觀自在王如來修行法、大日經疏卷七、般若波羅蜜多心經略疏、慧琳音義卷十］ p6784