梵語 samaya 之音譯。又作三昧耶、縒麼野、娑摩耶。意譯時、眾會、一致、規則、教理。一般多作「時」、「一致（平等）」之義。

(一)作為「時」之意，如諸經之初，有「如是我聞：一時」（梵 evaj mayā ?rutam ekasmin samaye）之語，亦即六事成就中之時成就。據大智度論卷一所載，古印度有關「時」之名稱有二：一為迦羅（梵 kāla），一為三摩耶。其中，迦羅一詞為印度古代外道所習用，此類外道執「時間」為實有，且以之為萬物之生因，佛教則視之為邪見，故於經中多用三摩耶一語，而不用迦羅一詞。此外，或以迦羅表示長時之時，如一年分為三等分，而以三摩耶表示時中之小時，如一日分為畫夜六時，六時之中更有「小分」之分。［大日經義釋演密鈔卷八、大日經疏鈔卷二］（參閱「一時」63）

(二)密教以之為諸佛或諸尊之本誓（因位之誓願）。具有平等、本誓、除障、驚覺等四義。即：以佛與眾生之本質而言，二者完全平等無有差別（平等），故佛發誓令所有眾生開悟成佛（本誓），而眾生由於佛之加持力，故能袪除煩惱（除障），眾生之迷心亦能隨之而驚醒（驚覺）。其中均以平等之義為中心。故大日經卷六言此三者皆平等一致，即三皆三昧之意，而稱為三三昧耶。此有一心三三昧耶、三寶三三昧耶、一身三三昧耶、三乘三三昧耶等四種。

據大日經卷二、大日經疏卷九所載，修胎藏界曼荼羅諸尊之三昧（三摩地）契合於本誓，與諸尊成為一體之修法，因胎藏界之諸尊分為佛部、蓮華部、金剛部等三部，其觀想亦有三種，此三種三昧耶，稱為三三昧耶。即：諸佛之本體，謂法界，此法界在胎內之位為入佛三昧耶，出胎內為法界生，完成自利利他之作用為轉法輪；依序而為法身、報身、應身之功德。此亦稱佛部三昧耶、蓮華部三昧耶、金剛部三昧耶，或三部三昧耶。

為平等、本誓之意時，密教之戒，稱為三昧耶戒、三摩耶戒，簡稱為三戒。而其作法則稱三昧耶戒儀、三昧耶戒作法，其道場稱為三昧耶戒場、三昧耶戒壇。此戒乃是立於「三皆三昧耶」，即「三三平等一致」之觀點，而以眾生本具之本有清淨菩提心為戒體，亦即以行願（大悲）、勝義、三摩地之三種菩提心為戒體，並以顯教、密教、大乘、小乘之戒法等法界之德為行相，在傳法灌頂時所授。

密教認為，受法之後不修行，則將退失自己之本誓，此稱退三昧耶罪。對密教之教說（密藏）加以懷疑、誹謗者，則稱破三昧耶罪。若未經允許學法，而自行授受者，為越三昧耶罪（越法罪）。以上三種罪，合稱為三種重罪。

象徵佛、菩薩、諸天等之本誓之器杖、印契等物，稱為三昧耶形、三摩耶形（略稱三形），或波羅蜜形。描繪三昧耶形以代表尊形之曼荼羅，則稱三昧耶曼荼羅，係四種曼荼羅之一。例如，大日如來之寶塔、觀音菩薩之蓮華、不動明王之劍等，均為三昧耶形。即順序觀想種子、三昧耶形、尊形，先從種子成就三昧耶形，再從三昧耶形開展出諸尊之形相。

密教修行之過程有五階段，為五種要誓之意，稱為五種三昧耶、五種灌頂。即：(一)初見三昧耶，遙從壇外可見曼荼羅，而未授與真言及印契之位。(二)入睹三昧耶，允許進入壇內供養、禮拜、散花，而得聞本尊名號之位。此時可受真言與印契。(三)具壇三昧耶，見曼荼羅及印契之後，修妙業之位。(四)傳教三昧耶，修行法則，知曉必要之事，而得為人師之位。(五)秘密三昧耶，到達最後生秘密慧之位。上述五種三昧耶可配於後世之灌頂，而依序相當於曼荼羅供、結緣灌頂、受明灌頂、傳法灌頂、以心灌頂。［大日經卷五入秘密漫荼羅法品、理趣釋卷上、大日經疏卷十六］ p672