第五無為法者，略有六種：一、虛空無為，二、擇滅無為，三、非擇滅無為，四、不動滅無為，五、想受滅無為，六、真如無為。上之四種，色心假實，皆是生滅之法，名有為性。無此有為，假名無為，非更別有一個無為之法，在於有為法外，而與有為相對待也。故云但是四所顯示。然為既無矣，尚不名一，云何有六？正由是四所顯，故不妨隨於能顯，說有六別：
　　一、虛空無為　虛空無為者，非色非心，離諸障礙，無可造作，故名無為。
　　二、擇滅無為　擇滅無為者，正慧簡擇，永滅煩惱，所顯真理，本不生滅，故名無為。
　　三、非擇滅無為　非擇滅無為者，復有二種：
　　　一者、不由擇力，本性清淨，故名無為。
　　　二者、有為緣闕，暫爾不生，雖非永滅，緣闕所顯，故名無為。
　　四、不動滅無為　不動滅無為者，入第四禪，雙忘苦樂，捨念清淨，三災不到，亦名無為。
　　五、想受滅無為　想受滅無為者，入滅盡定，想受不行，似涅槃故，亦名無為。
　　六、真如無為　真如無為者，非妄名真，非倒名如，即是色心假實諸法之性。諸法如波，此性如水；諸法如繩，此性如麻；諸法非此則無自體，此離諸法亦無自相，故與諸法不一不異。惟有遠離遍計所執，了達我法二空，乃能證會本真本如之體。真如二字，亦是強名。前五無為，又皆依此假立。此即唯識實性，故皆唯識，決無實我實法也。

　　　┌一、心法………眼識、耳識、鼻識、舌識、身識、
　　　│　　　　　　　意識、末那識、阿賴耶識……………………八　┐
　　　│　　┌一、遍行…………作意、觸、受、想、思…………五┐　│
　　　│　　│二、別境……欲、勝解、念、三麼地、慧…………五│　│
　　　│　　│三、善……信、精進、慚愧、無貪、無嗔、無癡　　│　│
　　　│　　│　　　　　輕安、不放逸、行捨、不害…………十一│　│
　　　│　　│四、煩惱……貪、嗔、慢、無明、疑、不正見……六│　│
　　　│二、│　　　　　　┌忿、恨、惱、覆、誑、　　　┐　　│五│
　　　│心　│　　　　　　│諂、憍、害、嫉、慳…………│　　├十│
　　　│所　┤　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　│　　│一│
　　　│有　│五、隨煩惱…┤無慚、無愧、不信、　　　　├二十│　│
　　　│法　│　　　　　　│懈怠、放逸……………………│　　│　│
　　　│　　│　　　　　　│　　　　　　　　　　　　　│　　│　│
一切法┤　　│　　　　　　│昏沉、掉舉、失念、　　　　│　　│　├百法
　　　│　　│　　　　　　└不正知、散亂…………………┘　　│　│
　　　│　　└六、不定…………睡眠、惡作、尋伺………………四┘　│
　　　│三、色法………眼、耳、鼻、舌、身、色、聲、　　　　　　　│
　　　│　　　　　　　香、味、觸、法處所攝色…………………十一　│
　　　│　　┌得、命根、眾同分、異生性、　　　　　　　┐　　　　│
　　　│四、│無想定、滅盡定、無想報、名身………………│　　　　│
　　　│心　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　│
　　　│不　│句身、文身、生、住、老、無常、　　　　　│　　　　│
　　　│相　┤流轉、定異………………………………………├二十四　│
　　　│應　│　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　│　　　　│
　　　│行　│相應、勢速、次第、時、方、數、　　　　　│　　　　│
　　　│　　└和合性、不和合性………………………………┘　　　　│
　　　│五、無為法……虛空無為、擇滅無為、非擇滅無為、　　　　　│
　　　└　　　　　　　不動滅無為、受想滅無為、真如無為………六　┘