三昧耶者，要誓之義，即「戒」義、不可違越之義。指入真言門五種要誓之次第。即：(一)初見三昧耶，遙於壇場之外禮拜曼荼羅，以花香等作供養，未授真言及印。(二)入睹三昧耶，引入曼荼羅壇，得見曼荼羅之坐位，若請印真言，得隨所應者而授之。(三)具壇三昧耶，阿闍梨特為此人造曼荼羅，告示諸尊及印等，並授予真言、手印及一一之行法。(四)傳教三昧耶，行者能依隨修行真言門之所有法則，並具知緣壇所須之方便眾藝，得在師位，師即為其作傳教曼荼羅。(五)秘密三昧耶，於秘密壇中如法作灌頂，經入此壇，能生秘密智，悉見如教所說之印壇配位。此五種三昧耶配於後世之灌頂，第一三昧耶為曼荼羅供，第二為結緣灌頂，第三為受明（學法）灌頂，第四為傳法灌頂，第五為以心灌頂。［大日經卷五秘密漫荼羅品、大日經疏卷十五、菩提心義卷三、大日經疏鈔卷三、乳味鈔卷十五］ p1173