梵語 tri-samayah。(一)三者皆為三昧耶之意。三昧耶，平等之義。如謂身、語、意三密等諸種三法平等而圓融無礙，稱為三三昧耶，故又稱三平等。另如心智悲、佛法僧、法報應三身等亦皆稱三三昧耶。［大日經卷六三三昧耶品、大日經疏鈔卷四、大日經義釋演密鈔卷十］

(二)三種三昧耶，即密教修胎藏法時之入佛三昧耶、法界生、轉法輪等三部三昧耶之印明。即：(一)入佛三昧耶，表示托佛之聖胎，成為佛子，而入於如來平等戒之義。(二)法界生，表示既具足聖胎，生於佛家，無盡莊嚴悉與如來平等之義。(三)轉法輪，表示佛子生長，成金剛薩埵，具足二利之金剛事業，無盡莊嚴悉與如來等同之義。如是，三種印明皆具平等之義，故稱三三昧耶。三昧耶，又稱三摩耶，具有平等、本誓、除障、驚覺等四義。［大日經卷二具緣品、大日經疏卷九、胎藏入理鈔卷上］（參閱「三摩耶」672）

(三)三部三昧耶之略稱。指密教胎藏界之蓮華部三昧耶、金剛部三昧耶、佛部三昧耶。(一)蓮華部三昧耶，指自身中本有的清淨菩提心之理，此理雖存於六道四生之生死泥中，然不染不垢，猶如泥中之蓮，故稱蓮華部三昧耶。(二)金剛部三昧耶，指本有理心之智，此智沒在生死海中，雖經無數劫，然不朽不壞，而可破諸煩惱，猶如金剛之破怨敵，故稱金剛部三昧耶。(三)佛部三昧耶，前二部猶屬凡位，故理智未顯；若理智具足，覺道圓滿，則稱佛部。又前二部為在纏之因位，佛部則為出纏之果位。上記系胎藏界之說相，若於金剛界中，則於三部之外，另加寶部、羯磨部，而為五部三昧耶。 p522