梵語 paramānu。又作極微塵、極細塵。舊譯鄰虛。物質（色法）分析至極小不可分之單位，稱極微。依俱舍論卷十二謂，以一極微為中心，集合上、下及四方等六方之極微而成一團，稱作「微」，又稱「微塵」，亦即合七極微為一微塵，始為天眼等之所見。微塵，梵語 anu-rajas，音譯作阿拏、阿菟，又作阿耨塵。

集合七微塵，謂一金塵，七金塵謂一水塵，七水塵謂一兔毛塵，七兔毛塵謂一羊毛塵，七羊毛塵謂一牛毛塵，七牛毛塵謂一隙游塵（又作向游塵）。金塵、水塵能夠通過金中、水中之空隙，故塵有極微細之意。兔毛塵、羊毛塵、牛毛塵，乃表示塵如兔、羊、牛的毛端之微細。隙游塵則指如窗隙間，吾人肉眼可視之光中浮游細塵而言。

極微集合形成具體物質之時，至少須具足地、水、火、風四大，與色、香、味、觸四塵（四微）始能形成。因不能缺少其一，故稱「八事俱生，隨一不減」。［大毗婆沙論卷十三、卷七十五、卷一三六、大智度論卷十二、瑜伽師地論卷三、卷五十四、成唯識論述記卷二本］ p5479