又作五重唯識觀。法相宗以諸法均由觀識轉變而來，持此觀法，將唯識體之淺深粗細次第分為五重，此即五重唯識觀。又見道以前之相似觀有五重層次，但在見道真觀，達到第一重之唯識觀時，即可立證真如。

五重唯識觀為窺基所創，即：(一)遣虛存實識，遣，即遮遣，意為否定。在三性中，遍計所執為虛妄，體用皆無，故捨遣之；以依他、圓成為諸法之體相與實性，以其為真實，故存留之，並觀此二性乃唯識之所現，此為第一重唯識觀。(二)捨濫留純識，在第一重觀之時，依他之事與圓成之理雖不離識，但內識中仍有客觀之境界（相分）與主觀之心（見分、自證分），心唯內有，境亦通外，為恐相分之內境與心外之境混淆，無法得到正觀，故須捨境留心，此為第二重唯識觀。(三)攝末歸本識，在第二重觀之時，雖已捨離心境相對之濫境，然所留之心法仍有識自體（自證分）之本與作用之末（見相二分）的分別，因末離本則不存在，故攝末歸於本，此為第三重唯識觀。(四)隱劣顯勝識，心王和心所之自體，雖同樣變現見相二分為能緣、所緣，然心所僅為心王之伴屬，作用較劣，故須隱蔽較劣之心所而彰顯較勝之心王。此為第四重唯識觀。(五)遣相證性識，第四重時，雖已顯存心王，但心王有事、理之別（事為相用之依他起性，理為性體之圓成實性），故須遣依他之相用，證圓成之實性。此為第五重唯識觀。

以上乃對心王而說，若從一般觀點視之，在心王、心所、色法、不相應行法、真如等五法之事理上，亦應遣前四重，而證第五重。復次，以上五重乃在說明悟入三性之層次，故離三性觀則不存在。

又五重中之第一重為總觀，後之四重為別觀。又前四重乃觀現象識之相唯識，為見道以前之修法；第五重為觀真如唯識之性唯識，乃見道以後之修法。［般若心經幽讚卷上、大乘法苑義林章卷一末、成唯識論了義燈卷一本、唯識義章卷一末、卷二本、大乘法相宗名目卷五下］ p1123