真言行者菩提心一念之功德有六種位別，稱為六無畏。即真言行者於地前三劫所得之利益。無畏，安穩蘇息之義，此六處為行者再生蘇息之處，故稱六無畏。即：(一)善無畏，行十善業，止十不善業，常生於人天，遠離三途之苦，為第一蘇息處。即真言行者依三密之行而供養本尊之位。(二)身無畏，修循身觀等，不生貪愛，於己身離諸扼縛，為第二蘇息處。即真言行者依有相之觀行，本尊之眾相現前之位。(三)無我無畏，了知我乃取蘊之積集，求之不可得，離我之扼縛，為第三蘇息處。即真言行者於瑜伽境界之一切分段中，觀心不可得，不生愛慢之位。(四)法無畏，觀察諸蘊即空，遠離諸蘊之扼縛，為第四蘇息處。即真言行者於瑜伽境界如鏡像水月，觀無性無生之位。(五)法無我無畏，觀察法無我性，覺了本不生之理，遠離法之扼縛，為第五蘇息處。即真言行者於瑜伽道中得心自在之位。(六)一切法自性平等無畏，觀自心畢竟空性，我、蘊、法及無緣等皆同一性，即了知自性無性而生空智，遠離有為無為界之二種扼縛，為第六蘇息處。即真言行者觀心實際，住虛空無垢菩提心之位。此六無畏配以三劫，前四者乃初劫之位，第五為第二劫之位，第六為第三劫之位。唯三劫乃就所度之三妄執（粗、細、極細）而立，六無畏則就能度之淨菩提心而說。［大日經卷一住心品、大日經疏卷三、真言名目、大日經疏鈔卷一、秘宗教相鈔卷五］ p1294